Festplatten-, MEMS- und Halbleiteranwendungen

Festplatten-, MEMS- und Halbleiteranwendungen
Festplatten	Messung von lasergeätzten Markierungen
Festplattenleseköpfe	Epitaxial-Wafer
Stufenhöhe	IC-Baugruppenmessung
MEMS und Nanotechnologie

Messung der Stufenhöhe

Übersicht
Eine präzise und wiederholbare Messung der Stufenhöhe ist für viele Hi-Tech-Anwendungen erforderlich. Taylor Hobson bietet eine Reihe von Messgeräten, die für die höchsten Anforderungen
im Bereich der Stufenhöhenmessung konzipiert sind. Diese Geräte decken einen Stufenhöhenbereich von unterhalb des Nanometerbereichs bis in den Millimeterbereich bei einer Wiederholbarkeit von unter 0.1 nm ab.

Folgende Systeme sind verfügbar:

Talysurf CCI
Berührungsloses Hochgeschwindigkeits-3D-Messsystem mit einer vertikalen Auflösung von 10 pm (0.01 nm) und einer Stufenhöhenwiederholbarkeit von 0.1 nm. Für die Messung von Stufenhöhen bis zu 100 µm.

Talysurf CLI
3D-Messgerät mit taktilem Taster, Laser-Triangulation und Sensoren für chromatische konfokale Messungen. Für die Messung von Stufenhöhen bis zu 3 mm.

Messung

3D-Stufenhöhe
Ermittlung der Höhendifferenz zwischen zwei Ebenen, die durch zwei Bereiche auf einer Fläche definiert werden. Der erste Bereich ist als Bezug festgelegt. Die Software passt eine mittlere Ebene (Gauß-Ebene) in diesen Bereich ein. Die zweite Ebene wird dann ausgehend von diesem Bereich bestimmt. Neben der mittleren Stufenhöhe, der maximalen und der minimalen Höhe, wird auch die Winkeldifferenz ermittelt.

2D-Stufenhöhe
Hierbei handelt es sich um eine Methode zur Messung der Stufenhöhe bei einfachen geometrischen Formen wie geätzten Linien oder rechteckigen Flächen. Die 2D-Stufenhöhe kann auch zur Messung der Dicke einer frei liegenden Kante eingesetzt werden.

Stufenhöhe nach ISO 5436-1
Beim Vergleichen von Stufenhöhen, die mit unterschiedlichen Messgeräten ermittelt wurden, ist unbedingt eine Standardmessmethode einzuhalten. Die Norm DIN EN ISO 5436-1 beschreibt eine international anerkannte Methode zur Messung der Stufenhöhe. Die vorstehend genannten Messgeräte entsprechen alle dieser Norm.

Nähere Einzelheiten hierzu erhalten Sie von dem für Sie zuständigen Vertriebsmitarbeiter