Festplatten-, MEMS- und Halbleiteranwendungen

Festplatten-, MEMS- und Halbleiteranwendungen
Festplatten	Messung von lasergeätzten Markierungen
Festplattenleseköpfe	Epitaxial-Wafer
Stufenhöhe	IC-Baugruppenmessung
MEMS und Nanotechnologie

MEMS und Nanotechnologie

Übersicht
Mikro-Elektro-Mechanische Systeme (MEMS) werden heute in zahlreiche Anwendungen eingesetzt, wie z.B. für Druck- und Beschleunigungssensoren, für Mikrospiegel-Displays und Mikro-Flüssigkeitspumpen. MEMS-Geräte erweitern die Fertigungstechniken, die von der IC-Branche zur Herstellung mechanischer Elemente wie Zahnräder, Membranen und Verbindungsträger eingesetzt werden können. Die präzise Messung aller dieser Elemente ist für die Massenfertigung kostengünstiger und hochwertiger MEMS-Geräte von ausschlaggebender Bedeutung.

Folgende Systeme sind verfügbar:

Talysurf CCI
Berührungsloses Hochgeschwindigkeits-3D-Messsystem, das 1 Million Datenpunkte bei einer Messung auf einer bis zu 7 x 7 mm großen Fläche erfasst. Für die Messung von Ebenheit, Rauheit sowie Elementgröße und -volumen.

Talysurf CLI
3D-Messgerät mit taktilem Taster, Laser-Triangulation und Sensoren für chromatische konfokale Messungen. Der maximale Abtastbereich beträgt 200 x 200 mm und der vertikale Bereich maximal 3 mm. Für die Messung von MEMS-Baugruppen und makroskopischen Merkmalen.

Messung

Rauheit
Die genaue Messung der Rauheit in MEMS-Geräten ermöglicht die Überwachung von Oberflächeninteraktionen, unabhängig davon, ob es sich um Fest/Fest-Interaktionen wie bei Mikro-Zahnradsystemen oder um Fest/Flüssig-Interaktionen wie bei Mikroflüssigkeitspumpen handelt.

Stufenhöhe
Die Überwachung der Stufenhöhe von MEMS-Geräten ist ein wichtiges Leistungskriterium. Neben den Seitenmaßinformationen vermittelt die Stufenhöhe eine gute Einschätzung der Masse, durch die die Schwingungsgrundfrequenz der einzelnen Elemente im Gerät beeinflusst wird.

Seitenmaße
Seitenmaße sind besonders bei der Erfassung von Mikro-Zahnrad- und -Flüssigkeitssystemen wichtig. Die genaue Messung von Volumen und Oberfläche sowie von kritischen Maßen wie Trägerbreite ermöglicht die Beeinflussung des Leistungsverhaltens des gesamten Gerätes.

Nähere Einzelheiten hierzu erhalten Sie von dem für Sie zuständigen Vertriebsmitarbeiter