Festplatten-, MEMS- und Halbleiterprodukte

Talysurf CLI 2000

Zu Festplatten-, MEMS- und Halbleiteranwendungen

Rauheit Asphäre
Welligkeit Dimension
Form Toleranzen
Kontur 2D-Analyse
Stufenhöhe 3D-Analyse
Talysurf CCI
Rauheit
Welligkeit
Stufenhöhe
2D-Analyse
3D-Analyse
Dimension
  • 3D-Oberflächenmessung mit hoher Genauigkeit

  • Das Coherence Correlation Interferometer
    arbeitet berührungslos und zerstörungsfrei

  • geeignet für Profilhöhen zwischen 1 nm und 100 µm

  • 0,01 nm Auflösung

  • schnelle Datenerfassung und Analyse

Talysurf CCI ist derzeit das genaueste optische 3D-Oberflächenmessgerät. Es kombiniert die Oberflächenbildqualität eines Mikroskops mit der Messgenauigkeit eines herkömmlichen Oberflächenmessgerätes.

Das Talysurf CCI ist ein berührungsloses Oberflächenmesssystem, das das Prinzip der Coherence Correlation Interferometrie nutzt. Es kann eine Messung mit über einer Million Datenpunkten bei einer Auflösung von 0,01 nm (0,1 Å) in weniger als zehn Sekunden durchführen.

 
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